等離子清洗機
離子清洗機kt-s2dqx,用于表面清洗,活化,刻蝕等離子清洗機電源屬于150w 13.56mhz的射頻電源。作為一種精密干法清洗設備,主要應用于半導體、鍍膜工藝、pcb制程、pcb制程、元器件封裝前、cog前、真空電子、連接器和繼電器等行業的精密清洗,塑料、橡膠、金屬和陶瓷等表面的活化以及生命科學實驗等。
該等離子清洗機kt-s2dqx,用于表面清洗,活化,刻蝕清洗機內置高純石英倉體,容積為2升。采用了新型的外觀結構設計和固態電源技術,使其有效容積增大,不同真空 氣體環境下容易匹配,且控制頻率穩定。真空倉門有觀察窗,可直觀物體的處理過程,其射頻電源與控制都組裝在一個機箱內,即減少了空間的占用,更便于操作和放置,同時與大型清洗機相比較,從檢測功能與控制功能的設置上均可一個面板上操作,特別適用科學實驗 樣品清洗 和教學。
供電電源
ac220v(ac110v可選)
工作電流
整機工作電流不大于3.5a(不含真空泵)
射頻電源功率
150w
射頻頻率
13.56mhz
頻率偏移量
<0.2mhz
特性阻抗
50歐姆,手動匹配
耦合方式
電容耦合
真空度
≤100pa
腔體材質
高純石英
腔體容積
2l(內徑110mmx深度220mm)
觀察窗內徑
φ65